[发明专利]一种石英坩埚透明层消除杂质元素方法在审
申请号: | 202110459402.8 | 申请日: | 2021-04-27 |
公开(公告)号: | CN115246704A | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
发明(设计)人: | 嵇亚明 | 申请(专利权)人: | 新沂市中鑫光电科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03C3/06 |
代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 张丽丽 |
地址: | 221411 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及石英坩埚加工技术领域,且公开了一种石英坩埚透明层消除杂质元素方法,包括以下步骤:S1:原料准备,称取质检合格、符合生产要求的石英砂,采用振动筛分机分级筛分,然后去除石英砂中的金属杂质、羟基化合物和其他烷烃类气体得到高纯石英砂;S2:调试,调试坩埚模具的夹角和转速;S3:成型,将石英砂置于坩埚模具内,倒砂成型预制成锅坯。本发明制备的透明层厚度均匀,气泡少,隔绝了气泡层的气泡进入溶硅中,不需进行氢氧化钡的涂覆,避免石英坩埚透明层被硅液腐蚀,提高石英坩埚使用寿命,能够快速去除石英砂原料中锂、铝、钾、钠等金属杂质,解决了原料只能依赖进口石英砂的弊端。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 透明 消除 杂质 元素 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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