[发明专利]使用卷积神经网络的虚拟量测方法在审
| 申请号： | 202110458621.4 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113971365A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 郑芳田;谢昱铭;王丹汝;彭琍瑄;林晋逸 | 申请（专利权）人： | 郑芳田 |
| 主分类号： | G06F30/27 | 分类号： | G06F30/27;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台南市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种使用卷积神经网络(Convolutional Neural Network；CNN)的虚拟量测方法。在本方法中，使用一动态时间规整(Dynamic Time Warping；DTW)演算法来删除不相似的制程数据，并将制程数据的长度调整为同样长度，以使卷积神经网络可被用来进行虚拟量测。本发明实施例的虚拟量测模型包含多个卷积神经网络模型和一个推估模型，其中此些卷积神经网络模型的多个输入分别为制程数据的各参数的时序数据，此些卷积神经网络模型的多个输出为推估模型的输入。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 卷积 神经网络 虚拟 方法 | ||
【主权项】：
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