[发明专利]一种IGZO废素坯回收制备IGZO靶材的方法在审
| 申请号： | 202110457145.4 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113233888A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 司振华;邵学亮;李开杰;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;朱燕华 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种IGZO废素坯回收制备IGZO靶材的方法，包括如下步骤：首先，将IGZO废素坯敲成块状体，然后破碎，粉碎；然后将粉碎粉末进行热处理，得到热处理粉末；然后将热处理粉末与分散剂、粘结剂、水和消泡剂球磨混合，制成IGZO浆料；然后通过喷雾干燥将浆料制成IGZO粉末；最后，通过成型和烧结制成IGZO靶材。本发明的方法可将IGZO废素坯直接回收利用，制成密度大于6.31g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 igzo 废素坯 回收 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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