[发明专利]应力检测系统、方法及装置有效
| 申请号： | 202110436724.0 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113155333B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 程北;朱海斌 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 王萌 |
| 地址： | 314006 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提出了一种应力检测系统、方法及装置，其中，系统包括：依次设置的光源模块、扩束模块、收束模块、采集模块和控制模块；所述光源模块，用于输出圆偏振光；所述扩束模块，用于对所述圆偏振光进行扩束处理，以生成第一光束；所述收束模块，用于对所述第一光束经过待测元件后形成的第二光束进行收束处理，以生成第三光束；所述采集模块，用于对所述第三光束经双折射随机相位板进行处理以形成衍射光斑，并采集所述衍射光斑的光强信息；所述控制模块，用于根据所述衍射光斑的光强信息计算所述待测元件的应力信息。本申请的应力检测系统、方法及装置，可以快速、准确的实现对元件应力的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 检测 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
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