[发明专利]应力检测系统、方法及装置

说明书

本申请提出了一种应力检测系统、方法及装置，其中，系统包括：依次设置的光源模块、扩束模块、收束模块、采集模块和控制模块；所述光源模块，用于输出圆偏振光；所述扩束模块，用于对所述圆偏振光进行扩束处理，以生成第一光束；所述收束模块，用于对所述第一光束经过待测元件后形成的第二光束进行收束处理，以生成第三光束；所述采集模块，用于对所述第三光束经双折射随机相位板进行处理以形成衍射光斑，并采集所述衍射光斑的光强信息；所述控制模块，用于根据所述衍射光斑的光强信息计算所述待测元件的应力信息。本申请的应力检测系统、方法及装置，可以快速、准确的实现对元件应力的检测。

技术领域

本申请涉及光学技术领域，尤其涉及一种应力检测系统、方法及装置。

背景技术

柔性电子器件中存在着大量高精密元件，对元件的检测和评估是预测输出元件可靠性的关键所在。元件在制造和使用过程中，会存在诸如残余应力、损伤应力、校装应力等应力。因此对元件应力的检测显得尤为重要。

发明内容

本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本申请的第一个目的在于提出一种应力检测系统，以快速、准确的实现对元件应力的检测。

本申请的第二个目的在于提出一种应力检测方法。

本申请的第三个目的在于提出一种应力检测装置。

为达上述目的，本申请第一方面实施例提出了一种应力检测系统，包括：依次设置的光源模块、扩束模块、收束模块、采集模块和控制模块；所述光源模块，用于输出圆偏振光；所述扩束模块，用于对所述圆偏振光进行扩束处理，以生成第一光束；所述收束模块，用于对所述第一光束经过待测元件后形成的第二光束进行收束处理，以生成第三光束；所述采集模块，用于对所述第三光束经双折射随机相位板进行处理以形成衍射光斑，并采集所述衍射光斑的光强信息；所述控制模块，用于根据所述衍射光斑的光强信息计算所述待测元件的应力信息。

本申请实施例提出的应力检测系统，光源模块输出的圆偏振光经扩束模块的扩束处理后，生成第一光束，收束模块对第一光束经过所述待测元件后形成的第二光束进行收束处理，以生成第三光束，采集第三光束经双折射随机相位板后形成的衍射光斑的光强信息，根据衍射光斑的光强信息计算待测元件的应力信息，可快速、准确的实现对元件应力的检测。

根据本申请的一个实施例，所述光源模块包括：依次设置的激光器和偏振调制单元；所述激光器，用于输出激光光束；所述偏振调制单元，用于对所述激光光束进行偏振调制，以生成所述圆偏振光。

根据本申请的一个实施例，所述偏振调制单元包括：依次设置的起偏器和四分之一波片。

根据本申请的一个实施例，所述扩束模块包括：依次设置的滤波器和第一透镜；所述滤波器的小孔位于所述第一透镜的前焦点。

根据本申请的一个实施例，所述收束模块包括：第二透镜，所述采集模块包括：依次设置的所述双折射随机相位板和图像传感器；所述双折射随机相位板位于所述第二透镜的后焦点后方第一距离处，所述图像传感器位于所述第二透镜的后焦点后方第二距离处，所述第一距离小于所述第二距离。

为达上述目的，本申请第二方面实施例提出了一种应力检测方法，适用于本申请第一方面实施例所述的应力检测系统，所述应力检测方法包括：获取双折射随机相位板位于多个位置时对应的多个衍射光斑的光强信息；根据所述多个衍射光斑的光强信息采用混合态衍射重叠相位恢复算法，恢复出照明光的复振幅分布；根据所述照明光的复振幅分布计算待测元件的应力信息。

本申请实施例提出的应力检测方法，获取双折射随机相位板位于多个位置时对应的多个衍射光斑的光强信息，根据多个衍射光斑的光强信息采用混合态衍射重叠相位恢复算法，恢复出照明光的复振幅分布，根据照明光的复振幅分布计算待测元件的应力信息，可快速、准确的实现对元件应力的检测。