[发明专利]一种基于光束整形改善激光诱导击穿光谱可重复性的方法有效
| 申请号： | 202110436720.2 | 申请日： | 2021-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113310968B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王哲;顾炜伦;侯宗余 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光束整形改善激光诱导击穿光谱可重复性的方法。该方法包含如下步骤：由激光器产生脉冲激光；由光束整形器将光束能量密度分布变为中心稍低、外围稍高的凹形；凹形光束聚焦烧蚀样品表面物质，产生等离子体；采集等离子体放射光，得到激光诱导击穿光谱。该方法与激光诱导击穿光谱领域的常规光束整形方法的主要区别在于，结合关于光谱信号不确定性来源以及等离子体空间演化过程的研究成果，针对性地设计了凹形光束形貌，以减小等离子体中心处的温度和电子密度，显著提高等离子体的空间稳定性，改善光谱可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光束 整形 改善 激光 诱导 击穿 光谱 重复性 方法 | ||
【主权项】：
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