[发明专利]一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法有效
| 申请号： | 202110430704.2 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113211164B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 朱学亮;张梦瑶;南丹荣;田爱玲;王红军;刘丙才 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | B23Q11/00 | 分类号： | B23Q11/00;B23Q17/00;B23Q17/24 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法。保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止，进而提高原位干涉测量系统的检测精度。本发明通过采集加速度传感器的信号f1和压电传感器的信号f2；然后，两信号相减得到信号f3，将信号f3进行取反处理；再通过PID调节，控制音圈电机产生反作用力，对干涉测量系统的动态微运动进行控制，保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止。当信号f2极小或等于零时，信号f3取反后，推动音圈电机可以抵消干涉测量系统的振动，保持静止。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉 测量 系统 反馈 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
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