[发明专利]一种膜厚控制装置及其镀膜方法在审
| 申请号： | 202110426189.0 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113106409A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张翼;程西容;陈俊宏;钟永文;成松;黄中玉 | 申请（专利权）人： | 湖北华鑫光电有限公司;湖北三峡职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 代婵 |
| 地址： | 443200 湖北省宜昌市枝*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜厚控制装置，包括膜厚控制仪、振荡器、真空罩，所述真空罩内设有探头和挡板，膜厚控制仪通过振荡器与真空罩内的探头相连，探头包括石英晶振片和待镀膜基片，用于基于石英晶振片的振动对待镀膜基片进行镀膜，并将振动频率反馈给膜厚控制仪，膜厚控制仪驱动探头发生振动，并控制挡板闭合，通过真空罩底部的蒸发源将镀膜材料蒸发到探头的待镀膜基片上，在镀膜过程中，通过实时测量探头的振动频率，来控制探头中待镀膜基片的镀膜厚度，待镀膜基片的镀膜厚度达到预设厚度时，控制挡板打开，遮挡蒸发源所蒸发的镀膜材料，镀膜结束。本发明还提供一种膜厚控制装置的镀膜方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 装置 及其 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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