[发明专利]陶瓷烧结方法在审
| 申请号： | 202110418115.2 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113511902A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 王礼;王宏伟;郑友山;符雅丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/626 | 分类号： | C04B35/626;C04B35/622;C04B35/63;C04B35/645 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种陶瓷烧结方法，其包括：对陶瓷粉粒进行分筛，以获得多组不同粒径范围的粉粒组；从多组所述粉粒组中选取至少三组，并将选取的至少三组所述粉粒组中的所述陶瓷粉粒按预设配比混合并研磨，形成陶瓷粉体；对所述陶瓷粉体进行烧结，以获得具有预设表面粗糙度的陶瓷件。本发明实施例提供的陶瓷烧结方法能够在烧结过程中消除陶瓷粉体内部孔洞，从而避免烧结成的陶瓷件存在有孔洞、边角不致密、层裂等问题，进而有利于后续对陶瓷件进行表面粗糙度处理工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 烧结 方法 | ||
【主权项】：
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