[发明专利]一种基于二维快速傅里叶变换的电子束曝光的邻近效应矫正方法有效
| 申请号： | 202110400952.2 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN112987514B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;姚文泽;徐宏成;赵浩杰;刘薇;侯程阳 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410082 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明是一种电子束曝光的邻近效应快速矫正方法。电子束曝光的邻近效应快速矫正方法包括：S11设置电子束曝光版图矩阵；S12使用二维快速傅里叶变换方法计算电子束正向曝光模拟的能量沉积；S13计算电子束曝光后的阈值显影图案强度；S14设置收敛精度，计算电子束曝光版图误差函数，判断是否收敛；S15计算电子束曝光剂量因子矩阵向量梯度迭代直至收敛；S16将电子束曝光版图剂量矫正结果转化为可用于曝光的数据类型。本发明实现了任意形状电子束曝光版图的邻近效应矫正计算，具有低误差率、高收敛速度率和高计算效率的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二维 快速 傅里叶变换 电子束 曝光 邻近 效应 矫正 方法 | ||
【主权项】：
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