[发明专利]测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202110395298.0 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113108691B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 陈建强;曾安;唐寿鸿 | 申请（专利权）人： | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 秦卫中 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市自由贸易试*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种测量装置及测量方法。该测量装置包括分束器和反射系统，其中，分束器用于将光源提供的光束分成射向成像系统的第一光束和射向待测量晶圆的第一表面的第二光束，并将第一表面反射回的第二光束反射至反射系统；反射系统用于将第一表面反射回的第二光束反射至待测量晶圆的与第一表面相对的第二表面，并将第二表面反射回的第二光束反射至分束器，以便第二表面反射回的第二光束穿过分束器，射向成像系统，其中成像系统用于根据第一光束和第二表面反射回的第二光束获得干涉图像。本申请提供的测量装置能降低振动对测量结果影响，提高测量结果的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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