[发明专利]一种用于单晶硅棒的平面检测装置

摘要

本发明涉及一种用于单晶硅棒的平面检测装置，包括底座、限位机构和检测机构，所述底座水平设置，所述检测机构设置在底座上，所述限位机构设置在检测机构上，所述检测机构包括定位板、连接组件和辅助组件，所述定位板竖向设置在底座上，所述连接组件设置在定位板上，所述辅助组件设置在定位板的一侧，所述辅助组件与连接组件连接，该用于单晶硅棒的平面检测装置通过限位机构实现对检测板的限位，使得检测板通过弹簧的回复始终位于同一位置，提高精准性，通过检测机构增加支杆转动的圈数，提高精确度，这里通过纯机械机构即可实现对主体切割后平面的检测，提高了使用寿命，提高了使用的实用性。