[发明专利]一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管在审

专利信息
申请号: 202110393643.7 申请日: 2021-04-13
公开(公告)号: CN113264670A 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 王龙飞;李凡;顾建宏;帅小立;刘顺;冀云磊;张佚;吴林清 申请(专利权)人: 江苏永鼎股份有限公司;江苏永鼎光纤科技有限公司
主分类号: C03B37/018 分类号: C03B37/018
代理公司: 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 代理人: 沈彬彬
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管,该方法包括以下步骤:S10、在靶棒表面沉积二氧化硅粉末,得到疏松体棒;S20、将疏松体棒转移至烧结炉中,对疏松体棒进行脱水处理,得到纯化疏松体棒;S30、向烧结炉中通入含有C2F6和氦气的混合气体一,对纯化疏松体棒进行氟掺杂,得到纯化掺氟疏松粉棒;S40、向烧结炉中通入含有C2F6和氦气的混合气体二,对纯化掺氟疏松粉棒进行烧结,使其完全玻璃化,得到烧结预制棒;S50、重复步骤S10‑S40n次,得到烧结预制棒成品,n为总沉积次数;S60、将烧结预制棒成品加工成石英管。本发明通过多次沉积和氟掺杂疏松体棒,可增大掺氟石英管尺寸、保证氟含量均匀性。具有工艺简单,掺氟效果好的优点。
搜索关键词: 一种 制备 尺寸 石英管 方法
【主权项】:
暂无信息
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