[发明专利]制备石墨烯的方法、石墨烯薄膜制备装置及石墨烯生产设备在审
| 申请号： | 202110391199.5 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113213457A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 徐仕坚 | 申请（专利权）人： | 佛山市兴炬烨科技研究有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184;C01B32/194;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 528234 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请实施例提供制备石墨烯的方法、石墨烯薄膜制备装置及石墨烯生产设备。本申请第一方面中制备石墨烯的方法包括以下步骤：预置步骤，将衬底以及含碳靶材放入预制备石墨烯的腔室，且使衬底与碳靶材以预设距离H相对设置；通入气体，向腔室持续通入流量比为R的含碳气体和惰性气体，其中，流量比R取值范围是0.08至0.375；在腔室内部环境条件达到预设条件状态下，施加平行于碳靶材靶表面的封闭磁场，同时施加垂直于靶表面和衬底的电场，以在衬底上形成石墨烯薄膜。可以提高制备得到的石墨烯薄膜的连续性以及提高石墨烯薄膜的比表面积，提升制备得到的石墨烯薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 石墨 方法 薄膜 装置 生产 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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