[发明专利]编码器装置、驱动装置、载物台装置及机器人装置在审

专利信息
申请号: 202110380209.5 申请日: 2017-01-06
公开(公告)号: CN113091779A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 后藤雅彦 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G01D5/22 分类号: G01D5/22
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 李成海
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种编码器装置、驱动装置、载物台装置及机器人装置,其可减少电池的维护频度。编码器装置(EC)具备位置检测系统(1)、电信号产生部(31)和电池(32),该位置检测系统(1)包括检测移动部(SF)的位置信息的检测部(13、23);该电信号产生部(31)通过移动部的移动产生电信号;该电池(32)与由电信号产生部产生的电信号相应地供给由位置检测系统消耗的电力的至少一部分。
搜索关键词: 编码器 装置 驱动 载物台 机器人
【主权项】:
暂无信息
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