[发明专利]磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置及其实现方法在审
| 申请号： | 202110378440.0 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113084694A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 罗求发;陆静;徐西鹏;薛志萍;姜峰;温海浪 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B49/00;B24B49/16;H01L21/67;H01L21/687;F16N15/04 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 杨依展 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置及其实现方法，实现装置包括主轴模块、液池模块及装夹模块；该主轴模块包括主轴、转接盘、供晶圆衬底固设其上的样品台和加热器；该液池模块包括液池、盖板、固定环及进液管，该液池包括设有安装通孔的池底、池内壳、池外壳和设有样品口的池盖；该装夹模块包括加载装置、样品夹杆和硬质磨料压头。它具有如下优点：通过硬质磨料压头与晶圆衬底的划擦实验，还原加工过程中划擦速度、载荷、温度和润滑状态，进而研究硬质磨粒与晶圆之间的界面作用关系，有助于揭示硬质磨料与晶圆衬底界面摩擦化学反应的作用机制，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景，且装置简单、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 磨料 衬底 摩擦 化学反应 实现 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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