[发明专利]等离子体离子密度测定装置和利用其的等离子体诊断装置在审
| 申请号： | 202110374496.9 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN114980464A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李孝昶;金贞衡;廉喜重 | 申请（专利权）人： | 韩国标准科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H05H1/02;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国大田*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子体离子密度测定装置，上述等离子体离子密度测定装置的特征在于，包括：收发天线，向等离子体施加能够改变频率的微波并接收；以及频率分析器，分析上述收发天线接收的微波的频率来测定截止频率，能够在100kHz以上且500MHz以下的范围内改变向上述等离子体施加的微波的频率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 离子 密度测定 装置 利用 诊断 | ||
【主权项】：
暂无信息
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