[发明专利]等离子体离子密度测定装置和利用其的等离子体诊断装置

权利要求书

1.一种等离子体离子密度测定装置，其特征在于，

包括：

收发天线，向等离子体施加能够改变频率的微波并接收；以及

频率分析器，分析上述收发天线接收的微波的频率来测定截止频率，

能够在100kHz以上且500MHz以下的范围内改变向上述等离子体施加的微波的频率。

2.根据权利要求1所述的等离子体离子密度测定装置，其特征在于，还包括将在上述频率分析器中测定的截止频率变换为等离子体离子密度的变换部。

3.根据权利要求1所述的等离子体离子密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为探针型天线。

4.根据权利要求1所述的等离子体离子密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为环形天线。

5.根据权利要求1所述的等离子体离子密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为扁平环形天线。

6.根据权利要求1所述的等离子体离子密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为扁平锥形天线。

7.根据权利要求1所述的等离子体离子密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为扁平杆型天线。

8.一种等离子体密度测定装置，其特征在于，

包括：

收发天线，向等离子体施加能够改变频率的微波并接收；以及

频率分析器，分析上述收发天线接收的微波的频率来测定截止频率，

能够在100kHz以上且500MHz以下的范围内改变向上述等离子体施加的微波的频率。

9.根据权利要求8所述的等离子体密度测定装置，其特征在于，还包括将在上述频率分析器中测定的截止频率变换为等离子体离子密度的变换部。

10.根据权利要求8所述的等离子体密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为探针型天线。

11.根据权利要求8所述的等离子体密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为环形天线。

12.根据权利要求8所述的等离子体密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为扁平环形天线。

13.根据权利要求8所述的等离子体密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为扁平锥形天线。

14.根据权利要求8所述的等离子体密度测定装置，其特征在于，上述收发天线为扁平杆型天线。

15.一种等离子体诊断装置，其特征在于，包括：

收发天线，向等离子体施加能够改变频率的微波并接收；

频率分析器，分析上述收发天线接收的微波的频率来测定截止频率；

变换部，将在上述频率分析器中测定的截止频率变换为等离子体电子密度或等离子体离子密度；以及

比较部，比较在上述变换部变换的等离子体电子密度与等离子体离子密度。

16.根据权利要求15所述的等离子体诊断装置，其特征在于，向上述等离子体施加的微波的频率包括在100kHz以上且500MHz以下的范围内改变的情况和在0.5GHz以上且10GHz以下的范围内改变的情况。

17.一种等离子体工艺装置，其特征在于，包括：

真空腔室，生成等离子体；

收发天线，在上述真空腔室内，向等离子体施加能够改变频率的微波并接收；

频率分析器，分析上述收发天线接收的微波的频率来测定截止频率；

变换部，将在上述频率分析器中测定的截止频率变换为等离子体离子密度或等离子体电子密度；以及

比较部，比较在上述变换部中变换的等离子体离子密度与等离子体电子密度。