[发明专利]一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法在审
| 申请号： | 202110350277.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112947011A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 马建立;甘新昌 | 申请（专利权）人： | 深圳光韵达光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/28 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法，该装置包括光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，第一LCOS芯片中的第一部分像素点将P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回偏振分光棱镜，第二LCOS芯片中的第一部分像素点将S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回偏振分光棱镜，第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过偏振分光棱镜分光界面处，重合后形成偏振合束，同轴传播进入成像透镜。由此，本发明的曝光装置使得光源经过偏振分光棱镜后得到的P偏振方向和S偏振方向的光均能够得到有效的利用，提高了光源光功率的利用效率和曝光强度，有利于兼使分辨率、光功率、效率获得最佳性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 lcos 芯片 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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