[发明专利]一种利用飞秒激光加工技术制备的柔性超滑SERS衬底、加工方法及应用

摘要

本发明公开了一种利用飞秒激光加工技术制备的柔性超滑SERS衬底、加工方法及应用，属于激光微纳加工技术领域；利用飞秒激光改性对PTFE膜进行加工，光热效应使PTFE以气体形式分解，得到具有周期性光栅‑纳米孔结构的L‑PTFE膜。结构化后的L‑PTFE薄膜经过沉积金属纳米粒子后，金属纳米粒子会附着在周期性光栅‑纳米孔表面。L‑PTFE的周期性光栅‑纳米孔结构有助于更多的金属纳米粒子沉积在L‑PTFE表面。基于周期性光栅‑纳米孔‑金属纳米粒子衬底可用于制作SERS芯片，实现检测限低至10‑7M的超灵敏检测。在衬底表面灌注润滑油，阻止液滴向多孔微纳表面的渗透，制备出具有超滑表面的SERS衬底，周期性光栅结构为典型的各向异性结构，引导液滴沿其纵向进行高速滑动，实现被测液滴的定向无损滑动。