[发明专利]一种柔性氟晶云母衬底ITO膜及其制备方法

摘要

一种柔性氟晶云母衬底ITO膜及其制备方法，样品分别经500℃、600℃、700℃、800℃及900℃高温2小时退火。结果发现随着退火温度的提高，ITO薄膜结晶性能更优异，电阻率明显下降，退火温度在800℃时，最低电阻率达4.08×10‑4Ωcm，相对不经退火样品其电阻率降低近一个数量级；所有样品在可见光(400‑800nm)范围，其平均光透过率在85％以上，随着退火温度的升高，其平均光透过率有降低趋势，在人眼敏感波长550nm位置，其光透过率高达93.74％。柔性氟晶云母衬底制备的ITO膜，经高温退火后具有优异的光电性能及良好的柔韧性和稳定性，这为其应用于柔性电子器件提供了保障。