[发明专利]一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器

摘要

本发明为一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器，包括器件，所述器件由棱镜和共振介质腔层组成，共振介质腔层上端涂覆待测物层，所述待测物层选用液态非极性材料，所述待测物其上设置为介质固体薄层，介质固体薄层用于涂覆待测物；还包括棱镜层、隔绝层、液体共振腔层以及载物层；所述棱镜层、隔绝层、液体共振腔层以及载物层自下而上复合形成全介质层；所述待测物层在检测时涂覆在载物层表平面上，以TM波作为检测的信号源，通过微流控改变液体共振腔层的厚度，得到的包络为样品的指纹谱，利用指纹谱来辨别样品。根据单个液体介电层的厚度的吸收峰的差异，区分基次共振和高次共振。指纹特征点的频率偏差低至0.001THz。