[发明专利]一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器

权利要求书

1.一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器，其特征在：

包括器件，所述器件由棱镜和共振介质腔层组成，所述共振介质腔层上端涂覆待测物层，所述待测物层选用液态非极性材料，所述待测物其上设置为介质固体薄层，介质固体薄层用于涂覆待测物；

还包括棱镜层、隔绝层、液体共振腔层以及载物层；所述棱镜层、隔绝层、液体共振腔层以及载物层自下而上复合形成全介质层；所述待测物层在检测时涂覆在载物层表平面上，以TM波作为检测的信号源，通过微流控改变液体共振腔层的厚度，得到的包络为样品的指纹谱，利用指纹谱来辨别样品。

2.根据权利要求1所述的一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器，其特征在于:所述液态非极性材料选用反式十氢化萘非极性液态材料、环己烷非极性液态材料中的任意一种材料，折射率为1.4-1.5。

3.根据权利要求1所述的一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器，其特征在于:所述载物层选用石英、多晶硅中的任意一种材料，折射率为1.6-1.8。

4.根据权利要求1所述的一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器，其特征在于:所述棱镜层选用聚苯乙烯、微球环氧树脂中的任意一种材料，折射率为1.2-1.35。

5.根据权利要求1所述的一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器，其特征在于:所述隔绝层与载物层同材质时，所述载物层厚度为5μm-15μm，所述隔绝层厚度为1μm-5μm，所述液体共振腔层厚度为1μm-1500μm。

6.根据权利要求1所述的一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器，其特征在于:所述棱镜为聚苯乙烯微球环氧树脂的折射率为1.30时，所述液体共振腔层选用反式十氢化萘层，反式十氢化萘的折射率为1.461；所述隔绝层和所述载物层选用石英，所述隔绝层的厚度为1μm，所述载物层的厚度为9μm，选用的石英的折射率为1.73。