[发明专利]晶圆清洗装置与晶圆清洗方法在审
| 申请号： | 202110322842.9 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113020078A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 祝君龙;李君;顾立勋;赖睿彬 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供的晶圆清洗装置与晶圆清洗方法，通过包括至少一个包括机械臂和喷嘴的清洗组件，当晶圆清洗装置清洗晶圆时，第一旋转件固定晶圆并带动晶圆旋转，一个机械臂将喷嘴运动至晶圆背离工作台的一侧，喷嘴朝向晶圆喷出清洗液进行清洗，本申请通过设置具有收容空间的第一遮挡件，除了正在进行清洗工作的喷嘴外，将其余的至少部分喷嘴位于收容空间内，利用第一遮挡件遮挡溅射出的清洗液，防止溅射出的清洗液附着在未进行清洗工作的喷嘴上，在下一次清洗工作开始前保证喷嘴不被溅射出的清洗液所污染，减少交叉污染，从而防止被污染的喷嘴污染不同批次的晶圆，提升晶圆的清洗质量与良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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