[发明专利]一种高去除速率、低划伤化学机械抛光垫及其应用有效
| 申请号： | 202110299539.1 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113021181B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 谢毓;王凯;田骐源 | 申请（专利权）人： | 万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高去除速率、低划伤化学机械抛光垫及其应用，所述抛光垫包括一种具有连续径向沟槽和不连续圆周向沟槽形式、所述沟槽底部为非平面形状的抛光层。本发明的化学机械抛光垫各沟槽形式结构相互配合，具有高移除速率、低表面划伤的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 速率 划伤 化学 机械抛光 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司，未经万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110299539.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种管道用管道内壁疏通清洁装置
- 下一篇：一种乌龟养殖用产蛋沙处理装置
