[发明专利]一种静电驱动金属微结构电场传感器在审
| 申请号： | 202110299436.5 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113063996A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 郑凤杰;夏善红;彭春荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R29/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种静电驱动金属微结构电场传感器，包括：屏蔽电极、衬底以及位于衬底上的第一驱动结构、第二驱动结构和感应电极；第一驱动结构和第二驱动结构对称设置于感应电极的两侧，其将屏蔽电极夹持于二者之间，并驱动屏蔽电极相对于感应电极作周期性运动，屏蔽电极、第一驱动结构、第二驱动结构和感应电极采用金属材料。本发明采用金属材料制备，电极弹性大，提高了电场测量的分辨力和灵敏度，增大了有效电荷感应面积；电极传感器采用垂直振动方式，提高了电场测量的分辨力和灵敏度；通过在动电极表面开设阻尼孔，降低驱动电压，减小驱动电压引起的噪声，提高信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 驱动 金属 微结构 电场 传感器 | ||
【主权项】：
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