[发明专利]一种自动设置调频边界的方法和射频电源

摘要

本发明涉及电源领域，特别涉及一种自动设置调频边界的方法和射频电源。本发明的方法对射频电源的输出电压和电流进行跳频采样，然后计算负载降阶模型参数矩阵，得到负载模型幅频曲线多项式方程，对多项式方程进行偏导求解，由此构建负载频率关系函数；求得使所述负载频率关系函数的值小于零的频率范围，所述频率范围的边界即调频边界；在调频边界内进行频率微调查找匹配频率。本发明能够自动计算调谐的频率边界，在边界内微调频率，能够快速实现频率调谐达到阻抗匹配，大大缩短了调谐时间，且不需要人工干预，可靠性高。