[发明专利]一种自动设置调频边界的方法和射频电源

权利要求书

1.一种自动设置调频边界的方法，其特征在于，包括以下步骤，

步骤1，构建负载频率关系函数；

步骤2，求得使所述负载频率关系函数的值小于零的频率范围，所述频率范围的边界即调频边界；

步骤3，在所述调频边界内进行频率微调，查找匹配频率；

所述构建负载频率关系函数包括以下步骤，

步骤11，在带宽内以指定间隔的频率对输出电压的幅值和相位以及输出电流的幅值和相位进行跳频采样；

步骤12，由所述电压、电流的采样值，得到负载阻抗的降阶模型参数矩阵；

步骤13，由所述负载阻抗的降阶模型参数矩阵，得到负载模型幅频曲线多项式方程；

步骤14，对所述负载模型幅频曲线多项式方程进行偏导求解，得到负载阻抗关于频率的导函数，所述负载阻抗关于频率的导函数即为所述负载频率关系函数；

其中，步骤12具体包括以下步骤，

步骤121，将所述电压、电流的采样值转换为电压的矩阵X和电流的矩阵Y，负载阻抗的降阶模型参数矩阵A与矩阵X、矩阵Y的关系为Y＝XA；

步骤122，求解最接近真实的负载阻抗的降阶模型参数矩阵将计算出的作为所述负载阻抗的降阶模型参数矩阵。

2.如权利要求1所述的一种自动设置调频边界的方法，其特征在于，在步骤122中，所述最接近真实的负载阻抗的降阶模型参数矩阵的计算公式为：其中X^T表示矩阵X的转置。

3.如权利要求1所述的一种自动设置调频边界的方法，其特征在于，在所述调频边界内，利用矢量值电抗来确定频率调谐的方向。

4.如权利要求3所述的一种自动设置调频边界的方法，其特征在于，利用矢量值电抗来确定频率调谐的方向的具体方法为，由输出电压的幅值和相位得到复电压，由输出电流的幅值和相位得到复电流，用复电压除以复电流得到阻抗，阻抗的虚部即为电抗，当电抗为正时，增大频率，当电抗为负时，减小频率。

5.如权利要求1所述的一种自动设置调频边界的方法，其特征在于，所述进行频率微调查找匹配频率的方法为使用预设的微调步长进行扫频，当阻抗匹配时的频率即为匹配频率。

6.一种自动设置调频边界的射频电源，其特征在于，执行如权利要求1至5任一项所述的自动设置调频边界的方法。