[发明专利]一种PVT法氮化铝晶体生长残余原料的回收利用方法在审
申请号: | 202110296082.9 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN113046834A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨化兴软控科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C01B21/072;C30B29/40 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 韩立岩 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区哈工大沿海*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种PVT法氮化铝晶体生长残余原料的回收利用方法,它属于氮化铝晶体生长残余原料的回收技术领域。本发明要解决的技术问题为PVT法氮化铝晶体生长的剩余原料的高效回收问题。本发明氮化铝晶体生长结束后,取氮化铝晶体生长后的原料,破碎为0.1‑1cm的颗粒原料,置于球磨机中,球磨后得到0.005‑0.1mm的微粉原料烘干后,用氢氟酸和硝酸的混合溶液进行洗涤,然后经超纯水清洗、然后经过乙醇超声清洗、烘干,得到高纯氮化铝粉体进行冷等静压成型,在气氛保护下加热至1500‑1700℃,高温煅烧10‑20h,冷却后得到5N级高纯氮化铝块状原料。本发明方法简易,利用了反应剩余原料,提高了总的原料利用率,节省成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 pvt 氮化 晶体生长 残余 原料 回收 利用 方法 | ||
【主权项】:
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