[发明专利]阀控制装置以及推断装置在审
| 申请号： | 202110288705.8 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN115111422A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K31/04 | 分类号： | F16K31/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阀控制装置以及推断装置，阀控制装置可谋求调压控制的精度提升。在阀控制装置(1b)中，运算部(210)在朝腔室导入气体时将阀体(12)的开度(θr)固定成一定，并基于阀体(12)的开度(θr)已被固定成一定时的压力测量值(Pr)的变化信息，推断真空阀(1)的排气信息。而且，调压控制部(21)基于所述排气信息来控制阀体(12)的开度，进行腔室的调压控制。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 以及 推断 | ||
【主权项】：
暂无信息
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