[发明专利]基于PT对称结构的气体浓度传感器有效
申请号: | 202110286706.9 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN112964679B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 吕博;赵超;史金辉;朱正;李玉祥;李汶佳;李增霖;王影;潘泽宇 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工程大学 |
主分类号: | G01N21/59 | 分类号: | G01N21/59;G01N21/41 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 刘景祥 |
地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于PT对称结构的气体浓度传感器,包括:损耗层、第一电感层、第二电感层和增益层,其中,从左至右依次设置损耗层、第一电感层、第二电感层和增益层,损耗层和第一电感层之间为空气层,第一电感层和第二电感层之间为待检测气体层,第二电感层和增益层之间为空气层,且损耗层和第一电感层之间的距离与第二电感层和增益层之间的距离相等。该传感器结构简单,成本低,可以避免气敏材料及其复杂的制备工艺,也可以检测由低密度气体分子引起的折射率极小规模扰动,并且在低浓度范围内具有高灵敏度的优势。 | ||
搜索关键词: | 基于 pt 对称 结构 气体 浓度 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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