[发明专利]一种镀膜设备在审
| 申请号： | 202110282427.5 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN112981356A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 薛聪颖;虞润淋;龙汝磊;吴萍 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/06;C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜设备，包括成膜室，成膜室内设置有基板架和基板盘，其中基板盘用于搭载待成膜产品，基板架用于悬挂安装基板盘，基板架连接有公转旋转机构，基板盘连接有自转旋转机构，公转旋转机构和自转旋转机构相独立；成膜室的内设置有蒸发源，蒸发源位于基板盘的下方；成膜室的内部设置有水晶监控装置，水晶监控装置用于监控待成膜产品上的成膜膜厚；成膜室一侧具有成膜室门，成膜室和成膜室门之间设置有开关门机构和锁紧机构。本发明的优点是：占地空间小、基片装载量大，有效提高产能；公自转速度可调，基板位置、角度可调，蒸发源位置角度可调，可显著提高材料利用率和膜厚均匀性；自动化程度高，适应于工业生产，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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