[发明专利]一种镀膜设备

说明书

本发明涉及一种镀膜设备，包括成膜室，成膜室内设置有基板架和基板盘，其中基板盘用于搭载待成膜产品，基板架用于悬挂安装基板盘，基板架连接有公转旋转机构，基板盘连接有自转旋转机构，公转旋转机构和自转旋转机构相独立；成膜室的内设置有蒸发源，蒸发源位于基板盘的下方；成膜室的内部设置有水晶监控装置，水晶监控装置用于监控待成膜产品上的成膜膜厚；成膜室一侧具有成膜室门，成膜室和成膜室门之间设置有开关门机构和锁紧机构。本发明的优点是：占地空间小、基片装载量大，有效提高产能；公自转速度可调，基板位置、角度可调，蒸发源位置角度可调，可显著提高材料利用率和膜厚均匀性；自动化程度高，适应于工业生产，适于推广。

技术领域

本发明涉及光学成膜技术领域，尤其是一种镀膜设备。

背景技术

在光学成膜技术领域中，为了提高成膜均匀性，常常将待成膜的产品搭载在一基板架上该基板架在成膜工艺时旋转，从而使膜料均匀地镀覆在产品表面，实现提高成膜均匀性的目的。目前闪烁体类镀膜材料因其材料较为特殊所以合适的镀膜设备较少，闪烁体类镀膜材料其材料对人体有一定危害，因此需要考虑其使用安全性。同时，随着市场需求的日益增大，在保证成膜质量的同时，如何提高产能以及成膜质量便成为一个急需解决的问题。

发明内容

本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种镀膜设备，通过配置相应的功能结构，在保证闪烁体类镀膜材料使用安全性的同时，有效提高产能并且提高成膜质量。

本发明目的实现由以下技术方案完成：

一种镀膜设备，其特征在于：包括成膜室，所述成膜室内设置有基板架和基板盘，其中所述基板盘用于搭载待成膜产品，所述基板架用于悬挂安装所述基板盘，所述基板架连接有公转旋转机构，所述基板盘连接有自转旋转机构，所述公转旋转机构和所述自转旋转机构相独立；所述成膜室的内设置有蒸发源，所述蒸发源位于所述基板盘的下方；所述成膜室的内部设置有水晶监控装置，所述水晶监控装置用于监控所述待成膜产品上的成膜膜厚；所述成膜室一侧具有成膜室门，所述成膜室和所述成膜室门之间设置有开关门机构和锁紧机构；所述成膜室的一侧设置有气动控制装置，所述气动控制装置连接控制所述开关门机构和所述锁紧机构。

所述公转旋转机构和所述自转旋转机构可实现共同工作或独立工作。

所述公转旋转机构包括公转马达、皮带轮机构、由若干齿轮相啮合构成的传动齿轮组以及转动轴构成，其中所述公转马达通过所述皮带轮机构与所述传动齿轮组的传动始端相连接，所述传动齿轮组的传动终端连接所述转动轴，所述转动轴与所述基板架固定连接，所述公转马达可驱动所述基板架公转。

所述自转旋转机构包括自转马达、皮带轮机构、由若干齿轮相啮合构成的传动齿轮组以及连接杆，所述自转马达通过所述皮带轮机构与所述传动齿轮组的传动始端相连接，所述传动齿轮组的传动终端连接所述连接杆，所述连接杆与所述基板盘固定连接，所述自转马达可驱动所述基板盘自转。

所述成膜室门的一侧与所述成膜室主体之间铰接，在所述成膜室主体与所述成膜室门之间设置有开关门机构，所述开关门机构用于连接控制所述成膜室门的启闭，使所述成膜室门可旋转打开或可旋转闭合，在所述成膜室主体的侧面设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于在所述成膜室门闭合后对所述成膜室门与所述成膜室主体之间的对接位置进行锁紧。

所述水晶监控装置包括水晶本体，在所述水晶本体的外围设置有水晶防护罩，所述水晶防护罩上开设有供所述水晶本体监测用的开口，所述水晶本体和所述水晶防护罩之间设置有可控启闭的水晶挡板，所述水晶挡板的启闭可切换所述水晶本体与所述水晶防护罩上的开口之间的连通状态。

在成膜室内设置有加热机构，所述加热机构用于对基板进行加热，所述加热机构为卤素灯。

所述成膜室连接有机械泵和高真空泵。