[发明专利]一种柔性CNTs太赫兹超材料传感器以及制作方法有效
| 申请号： | 202110271325.3 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113155161B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张向;王玥;张晓菊;周韬;陈素果;惠宁菊;纪卫莉 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王敏强 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性CNTs太赫兹超材料传感器，包括自下而上依次贴合设置的聚合物衬底层和碳纳米管薄膜层形成的双层结构，碳纳米管薄膜层上刻蚀有若干周期性的超材料单元结构，超材料单元结构中心开设有矩形槽结构，矩形槽结构在碳纳米管薄膜层上也呈周期性排列。本发明还公开了一种柔性CNTs太赫兹超材料传感器的制作方法。本发明性CNTs太赫兹超材料传感器当器件受到很小的外部应变时，谐振频率和振幅调制可以连续调节，可以达到调制THz辐射的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 cnts 赫兹 材料 传感器 以及 制作方法 | ||
【主权项】：
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