[发明专利]一种基于双波长涡旋光自共轭干涉的大量程皮米级位移测量系统及方法

摘要

本发明涉及一种基于双波长涡旋光自共轭干涉的大量程皮米级位移测量系统及方法，该测量系统包括第一涡旋光发生器、第二涡旋光发生器、第一二维光电传感器、第二二维光电传感器和辅助测量反射镜，且第一涡旋光发生器和第二涡旋光发生器发出的涡旋光的波长不同。本发明的测量系统采用马赫‑曾德干涉仪结构，系统结构紧凑，稳定性强，测量精度高。本发明能够获得不同波长下待测样品发生位移前、后的干涉光强分布图像，通过计算机进行处理，计算待测样品在发生位移前、后的干涉图像的全行程旋转角度，然后计算出待测物品的位移量Z，实现大量程皮米级位移快速测量。