[发明专利]基于谐振器的真空度检测方法、系统及装置在审
| 申请号： | 202110257548.4 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113008453A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;尉洁;王军波;鲁毓岚;谢波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01L21/22 | 分类号： | G01L21/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种基于谐振器的真空度检测方法，包括：发出激励信号；接收所述激励信号并在所述激励信号的作用下生成输出信号；将所述输出信号转换为数字信号；控制调整所述激励信号使得其与所述谐振器固有频率发生共振，并对所述数字信号进行处理后得到谐振器实时真空度下对应的振动幅值；以及将所述振动幅值处理为实时真空度值并显示。本公开还提供一种基于谐振器的真空度检测系统及基于谐振器的真空度检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振器 真空 检测 方法 系统 装置 | ||
【主权项】：
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