[发明专利]基于谐振器的真空度检测方法、系统及装置

权利要求书

1.一种基于谐振器的真空度检测方法，包括：

发出激励信号；

接收所述激励信号并在所述激励信号的作用下生成输出信号；

将所述输出信号转换为数字信号；

控制调整所述激励信号使得其与所述谐振器固有频率发生共振，并对所述数字信号进行处理后得到谐振器实时真空度下对应的振动幅值；以及

将所述振动幅值处理为实时真空度值并显示。

2.根据权利要求1所述的基于谐振器的真空度检测方法，所述发出激励信号为通过正弦波发生器产生恒定幅值而频率连续变化的正弦激励信号。

3.根据权利要求1所述的基于谐振器的真空度检测方法，将所述输出信号转换为数字信号包括将所述输出信号经增益放大电路和滤波电路作用，再经模数转换器采样后，转换得到数字信号。

4.根据权利要求1所述的基于谐振器的真空度检测方法，当待测腔体中的真空度发生变化时，谐振器由于受到空气阻尼，发生共振时的振动幅度会发生变化，相应的输出信号电压值也会相应的发生变化。

5.根据权利要求1所述的基于谐振器的真空度检测方法，所述真空度值P为：

P＝F^-1(x)；

其中，P为待测真空腔室内的压力，x为振动幅值，F为标定实验得到的振动幅值x与待测值P的函数关系式。

6.一种基于谐振器的真空度检测系统，包括：

正弦波发生器，用于发出激励信号；

基于谐振器的真空度检测装置，与所述正弦波发生器相连，用于接收所述激励信号并在所述激励信号的作用下生成输出信号；

模数转换器，与所述真空度检测装置相连，用于将所述输出信号转换为数字信号；

单片机，同时与所述正弦波发生器和所属模数转换器相连，控制调整所述正弦波发生器的工作状态使得所述激励信号与真空度检测装置中的谐振器固有频率发生共振，并对所述数字信号进行处理后得到谐振器实时真空度下对应的振动幅值；以及

上位机，与所述单片机相连，将所述振动幅值处理为实时真空度值并显示。

7.根据权利要求1所述的基于谐振器的真空度检测系统，所述正弦波发生器在所述单片机的控制下发出恒定幅值而频率连续变化的正弦激励信号。

8.一种基于谐振器的真空度检测装置，包括：

谐振器，内置于待检测真空度的腔体内，用于施加激励信号后生成第一信号；

增益调节模块，与所述谐振器相连，用于对第一信号进行处理后生成第二信号；以及

带通滤波模块，与所述增益相位调节模块相连，用于降低第二信号的噪声提高信噪比，生成输出信号。

9.根据权利要求8所述的基于谐振器的真空度检测装置，所述增益相位调节模块包括：

放大器，用于对所述第一信号进行放大。

10.根据权利要求9所述的基于谐振器的真空度检测装置，所述增益相位调节模块还包括：

相位调节器，用于对放大后的第一信号进行相位调节。