[发明专利]一种石英谐振子修平设备的多工位工件台有效
| 申请号： | 202110244963.6 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN112964277B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 范江华;佘鹏程;彭浩;周波;刘宇;张双景 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英谐振子修平设备的多工位工件台，包括真空腔室、自转轴、用于带动自转轴升降的升降驱动机构、位于真空腔室内的公转转盘、以及多个沿公转转盘圆周方向布置的测试夹具，所述测试夹具的中心轴延伸至所述公转转盘的下方，所述自转轴上端延伸至所述真空腔室内并设有用于抱紧所述中心轴的抱紧机构。本发明具有结构简单、可靠，有利于提高生产效率和工艺一致性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 谐振子 设备 多工位 工件 | ||
【主权项】：
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