[发明专利]一种基于等离子体表面改性的直写喷头、包括其的直写系统装置及直写方法

摘要

本发明提供了一种基于等离子体表面改性的直写喷头、包括其的直写系统装置及直写方法，所述的直写喷头包括安装板以及设置于所述安装板上的驱动组件，所述的驱动组件上并排竖直设置有等离子体喷头和墨水注射器；所述的驱动组件用于带动所述的等离子体喷头沿竖直方向移动和/或将墨水注射器内的墨水挤出。本发明提供的直写喷头能够减少掩膜的浪费，降低人工的参与程度，减小时间成本，可以采用更细的线条绘制图案，从而提升制作效率和图案精度，实现了程序化、自动化和集成化的图案绘制。