[发明专利]一种高磁性耐磨损的散裂靶靶球及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高磁性耐磨损的散裂靶靶球及其制备方法。本发明高磁性耐磨损散裂靶靶球，由球芯和由内至外依次包覆在球芯外的磁性层、过渡层和耐磨层构成；球芯为钨镍铁合金球或铍球。本发明制备方法，包括如下步骤：在球芯外依次包覆磁性层、过渡层和耐磨层，即可得到高磁性耐磨损散裂靶靶球。本发明新型的靶球结构设计，其磁性及耐磨性都得到了大幅提高，相应的靶球提升流量以及靶球的使用寿命也将大大提升，同时减少了粉尘的产生量。本发明制备方法中，利用粉末包覆烧结法制备表面高磁性涂层，其综合性能更好，表面的钨与镍铁组织具有非常好的润湿性，高温热处理后可在界面处实现冶金结合，结合力高，涂层不易脱落。