[发明专利]抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪有效
| 申请号： | 202110240950.1 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN112902833B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 卢丙辉;刘国栋;刘炳国;庄志涛;陈凤东;甘雨;路程 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 杨晓辉 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪，涉及光学检测空间物体表面三维信息的技术领域。本发明解决了时域移相式斐索干涉仪受环境振动等随机误差源影响严重的问题。本发明包括短相干激光器、第一λ/2波片、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、移相器、第二角锥棱镜、延迟平台、显微物镜、微小针孔、分光平片、第一准直镜、标准参考镜、第二准直镜、第一分光棱镜、4f系统、第三角锥棱镜、第四角锥棱镜、第二λ/2波片、分光棱镜组、波片组、检偏器和面阵相机；采用短相干光路结构结合时空混合移相方式，充分发挥时域移相和空域移相的优势，大幅度提高其在振动环境下的检测性能。本发明的主要用于采集被测样品的干涉图样。 | ||
| 搜索关键词： | 抗振式短 相干 时空 混合 移相斐索 干涉仪 | ||
【主权项】：
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