[发明专利]高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器的制备方法有效
| 申请号： | 202110238832.7 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113077981B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 余忠;青豪;孙科;冉茂君;邬传健;刘海;蒋晓娜;兰中文 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01F37/00 | 分类号： | H01F37/00;H01F27/24;H01F27/06;H01F27/28;H01F41/24 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器，属于薄膜电感器制备技术领域。该薄膜电感器包括衬底基片，形成于衬底基片之上的磁性薄膜，形成于磁性薄膜之上的电感线圈；其中，所述衬底基片包括依次设置的硅基片、聚酰亚胺层和氮化硅层，聚酰亚胺层的厚度为30μm～70μm。本发明薄膜电感器通过在基底上形成聚酰亚胺层，有效降低了电感的衬底损耗和寄生电容，使薄膜电感器具有高的Q值和谐振频率；采用旋转喷涂法低温沉积磁性薄膜，避免聚酰亚胺层的高温分解开裂；通过对电感线圈的匝数、导线宽度、导线间距和导线厚度进行优化，最终得到了高电感值、高Q值和高谐振频率的薄膜电感器。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 谐振 频率 薄膜 电感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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