[发明专利]一种深紫外滤光片及其设计方法

摘要

本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种深紫外滤光片及设计方法，该深紫外滤光片结构为:Sub/Ma(HL)mb(HL)n x1Hx2Lx3Hx4Lx5Hx6Lx7H/Air，其中Sub表示基板，H和L表示光学厚度为λ/4的高低折射率材料膜层，a、b、x1、x2、x3、x4、x5、x6和x7为H和L层的系数，m和n为膜层的周期数，M为应力调节层。本发明提出的深紫外滤光片的设计方法，在基板上设计深紫外滤光片膜系，将滤光片膜堆和应力调节层通过膜层厚度优化，在220nm波长处实现高透射率和235‑285nm波长处低透射率的同时，解决了深紫外薄膜所用氟化物材料张应力过大导致膜层龟裂的问题。该设计方法提供的深紫外滤光片，可以对人体无害的220nm特定紫外线的捕捉，同时抑制对人体有害的其他紫外线，在紫外线消毒杀菌仪器中有广泛地应用前景。