[发明专利]一种用于承载硅片的硅胶层的制备工艺方法有效
申请号: | 202110226169.9 | 申请日: | 2021-03-01 |
公开(公告)号: | CN113025200B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 卢娇 | 申请(专利权)人: | 无锡赛思一科技有限公司 |
主分类号: | C09D183/04 | 分类号: | C09D183/04;C09D191/00;C09D5/24;C09D7/61;H01L21/687 |
代理公司: | 无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323 | 代理人: | 吕志垚 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及硅片基座承载膜技术领域,提供了一种用于承载硅片的硅胶层的制备工艺方法,包括如下配方,硅胶80‑120份,防粘接油8‑12份,石墨粉1‑5份,以及如下工艺步骤:步骤一,将硅胶、防粘接油和石墨粉以特定比例搅拌混合均匀;步骤二,将步骤一形成的硅胶混合物均匀的涂抹在基座上;步骤三,在硅胶混合物上设置限位片;步骤四,对硅胶层进行烘干处理。本发明克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,解决了现有的硅片基座在承载硅片时散热效果差的问题,本发明通过简单工艺方法,制备出质地柔软其导热和导电效果好的硅胶层,来实现对硅片的承载,同时加工工艺简单,能够消除垄断,减少费用和时间消耗,具有很强的实用性,适于推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 承载 硅片 硅胶 制备 工艺 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡赛思一科技有限公司,未经无锡赛思一科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110226169.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C09 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物,例如色漆、清漆或天然漆;填充浆料;化学涂料或油墨的去除剂;油墨;改正液;木材着色剂;用于着色或印刷的浆料或固体;原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物;基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个,但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D 涂料组合物,例如色漆、清漆或天然漆;填充浆料;化学涂料或油墨的去除剂;油墨;改正液;木材着色剂;用于着色或印刷的浆料或固体;原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物;基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个,但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接