[发明专利]薄膜粘附强度的检测方法、待检测样品及检测装置有效
| 申请号： | 202110226163.1 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113029940B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 饶少凯;王超;徐齐;姜有东 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高天华;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本公开实施例公开了一种薄膜粘附强度的检测方法、待检测样品及检测装置。所述薄膜粘附强度的检测方法包括：提供待检测结构；其中，待检测结构包括第一薄膜和第二薄膜，第二薄膜覆盖第一薄膜；去除部分第二薄膜，直至显露第一薄膜，并基于残留在第一薄膜表面的第二薄膜形成凸起，以形成待检测样品；将检测装置的探针底部置于去除部分第二薄膜后所显露的第一薄膜表面，并沿平行于第一薄膜所在平面的方向向凸起移动探针，直至凸起与第一薄膜分离；在移动探针的同时，检测探针的载荷；根据凸起与第一薄膜分离时检测的探针的载荷，确定第一薄膜与第二薄膜之间的粘附强度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 粘附 强度 检测 方法 样品 装置 | ||
【主权项】：
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