[发明专利]薄膜粘附强度的检测方法、待检测样品及检测装置

权利要求书

1.一种薄膜粘附强度的检测方法，其特征在于，所述方法包括：

提供待检测结构；其中，所述待检测结构包括第一薄膜和第二薄膜，所述第二薄膜覆盖所述第一薄膜；

去除部分所述第二薄膜，直至显露所述第一薄膜，并基于残留在所述第一薄膜表面的所述第二薄膜形成凸起，以形成待检测样品；

将检测装置的探针底部置于去除部分所述第二薄膜后所显露的所述第一薄膜表面，并沿平行于所述第一薄膜所在平面的方向向所述凸起移动所述探针，直至所述凸起与所述第一薄膜分离；

在移动所述探针的同时，检测所述探针的载荷；

根据所述凸起与所述第一薄膜分离时检测的所述探针的载荷，确定所述第一薄膜与所述第二薄膜之间的粘附强度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述方法还包括：在移动所述探针的同时，记录与检测的所述载荷对应的所述探针的位移，获得所述探针的载荷与位移之间的关系曲线；

所述根据所述凸起与所述第一薄膜分离时检测的所述探针的载荷，确定所述第一薄膜与所述第二薄膜之间的粘附强度，包括：

确定所述关系曲线中载荷的峰值；其中，所述峰值为所述凸起与所述第一薄膜分离时，检测的所述探针的载荷的取值；根据所述峰值、以及所述载荷与粘附强度之间的预设关系，确定所述第一薄膜与所述第二薄膜之间的粘附强度。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二薄膜包括第一区域、围绕所述第一区域设置的第二区域，和围绕所述第二区域设置的第三区域；

所述去除部分所述第二薄膜，直至显露所述第一薄膜，并基于残留在所述第一薄膜表面的所述第二薄膜形成凸起，包括：

去除所述第二区域中的所述第二薄膜，以显露所述第二区域覆盖的所述第一薄膜，并基于所述第一区域中的所述第二薄膜形成所述凸起。

4.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述去除部分所述第二薄膜，直至显露所述第一薄膜，并基于残留在所述第一薄膜表面的所述第二薄膜形成凸起，包括：

利用聚焦离子束技术去除部分所述第二薄膜，以形成所述凸起。

5.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述去除部分所述第二薄膜，直至显露所述第一薄膜，并基于残留在所述第一薄膜表面的所述第二薄膜形成凸起，包括：

沿垂直于所述第一薄膜所在平面的方向去除部分所述第二薄膜，以形成所述凸起；其中，所述凸起的至少一个侧面垂直于所述第一薄膜所在的平面。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述凸起与所述第一薄膜分离之后，且在所述凸起与所述第二薄膜的第三区域接触之前，停止移动所述探针。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在移动所述探针的过程中，使得所述待检测样品发生分离，获得第一部分和第二部分；其中，所述第一部分的体积大于所述第二部分的体积，所述第一部分包括显露的所述第一薄膜；

分别对所述第一部分表面所述探针移动的区域和所述第二部分进行元素分析，获得分析结果；

在所述分析结果指示所述第一部分表面所述探针移动的区域所包含的元素与所述第一薄膜的组成元素相同，且所述第二部分的组成元素与所述第二薄膜的组成元素相同时，确定所述探针使所述第一薄膜与所述凸起分离。

8.一种待检测样品，其特征在于，应用如权利要求1至7任一项所述方法进行检测，所述待检测样品包括：

第一薄膜；

第二薄膜，位于所述第一薄膜表面，包括第一子块体和第二子块体；其中，所述第二子块体围绕所述第一子块体设置，且所述第一子块体与所述第二子块体之间存在空隙，所述第一薄膜的部分区域通过所述空隙显露。

9.根据权利要求8所述的待检测样品，其特征在于，

沿垂直于所述第一薄膜所在平面的方向，所述第一子块体的至少一个表面为平面。