[发明专利]使用快速行进水平集在电子显微图中度量半导体装置在审
| 申请号： | 202110208911.3 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113312956A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | U·阿迪加 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G06K9/32;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使用快速行进水平集在电子显微图中度量半导体装置。本文公开了用于使用快速行进水平集对装置进行度量的设备及方法。实例方法至少包括：在图像上创建快速行进水平集种子；从所述快速行进水平集种子传播快速行进水平集曲线以定位在所述图像内的多个感兴趣区域的边界；以及部分地基于所述边界对所述感兴趣区域执行度量。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 快速 行进 水平 电子 显微 度量 半导体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司，未经FEI公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110208911.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
