[发明专利]基于多级结构的柔性压力传感器、制备方法及测量系统有效
| 申请号： | 202110196116.7 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113008417B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 黄国亮;杨晗;符荣鑫;罗贤波;吕文琦 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;A61B5/0205;A61B5/02;A61B5/024;A61B5/11;A61B5/00;B82Y15/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 刘美丽 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于多级结构的柔性压力传感器、制备方法及测量系统，该传感器包括：弹性多级结构，所述弹性多级结构包括依次设置的2级以上的弹性结构层，每一弹性结构层的表面均设置有阵列式微结构，不同级弹性结构层的阵列式微结构均朝向同一方向；其中，至少一层弹性结构层具有导电层；柔性电极层，所述柔性电极层至少一层，柔性电极层的导电面与导电层相接触。本发明提供的多级结构可以连续引入微结构参与压力作用下的变形，并进一步增加原有形变微结构的形变，能够在压力变高时补偿结构变形的饱和效应，从而提高压力传感器的灵敏度和动态线性范围，满足复杂压力测量与反馈控制的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多级 结构 柔性 压力传感器 制备 方法 测量 系统 | ||
【主权项】：
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