[发明专利]具有带有液体填充物的致孔剂的抛光垫在审
| 申请号： | 202110193495.4 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN113276016A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | P.A.勒费夫尔;W.C.阿利森 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/24;B24B37/26;B24D3/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;邢岳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了具有带有液体填充物的致孔剂的抛光垫以及制造具有带有液体填充物的致孔剂的抛光垫的方法。在实例中，用于抛光基板的抛光垫包括抛光体，所述抛光体具有聚合物基质以及分散在整个所述聚合物基质中的多个致孔剂。所述多个致孔剂中的每一个均具有带有液体填充物的壳。该液体填充物具有在1atm压力下的低于100摄氏度的沸点、比水低的密度、或者这两者。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 带有 液体 填充物 致孔剂 抛光 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉柏微电子材料股份公司，未经嘉柏微电子材料股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110193495.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
