[发明专利]一种基于径向磁场分布的MEMS微镜

摘要

本发明公开了一种基于径向磁场分布的MEMS微镜，包括基板、外框架、内框架、镜面、第二扭转轴和第一扭转轴；外框架和内框架均为两个半圆组成的圆环，同一框架的两个半圆端部之间间隙设置，镜面设置在内框架中，内框架设置在外框架中；内框架与镜面通过第一扭转轴转动连接，外框架与基板通过第二扭转轴转动连接；镜面下方设置第一磁铁和第二磁铁，第一磁铁和第二磁铁间隙设置，第一磁铁磁极方向为轴向，第一磁铁和第二磁铁磁极方向相反；内框架朝向第一磁铁的一面设置有第一线圈，第一线圈以内框架的间隙处为界分为两部分，每部分均呈蛇形折叠状绕内框架半圆处分布形成回路；外框架朝向第一磁铁的一面设置有第二线圈，第二线圈为圆环形。